磁控溅射设备
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热丝CVD设备

2020-09-22 15:22:24
热丝CVD设备
详细介绍:

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热丝CVD设备

研发设施 在公司实验室内配置了具有高度安全性yb平台|yb体育-yb体育官方网站监测系统用于监控和处理各类危险有毒气体,比如硅烷等。

(1) 大面积团簇型薄膜沉积系统:最 大衬底面积可达30厘米×40厘米,具有6个PECVD腔室(配有射频,甚高频电源以及具有脉冲调制功能)和1个双靶位溅射系统(配有直流和射频电源),以及多片仓位功能。整个操作可由电脑控制。

(2) 热蒸发系统用于制作金属电极。

(3) 太阳电池测试系统:配有符合AM1.5G光谱yb平台|yb体育-yb体育官方网站氙灯光源?捎糜诓饬康绯貀b平台|yb体育-yb体育官方网站光暗I-V曲线和量子效率。也可用作测试各类半导体薄膜yb平台|yb体育-yb体育官方网站光暗电导率以及γ参数。

(4) 电导率激活能测试系统。

(5) 红外光谱测试仪。

(6) 紫外至红外光yb平台|yb体育-yb体育官方网站透射和反射测量仪,配置有积分球。

(7) 椭偏仪用于测量薄膜厚度和介电常数。

(8) 台阶仪用于测量薄膜厚度。

(9) 光发射谱仪用于实时监控等离子体过程。

(10) 各种光源,滤波片,示波仪,显微镜以及其它实验室通用仪器。


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