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磁控溅射系统被广泛应用

2020-07-17 10:27:21

磁控溅射系统已被大量应用yb平台|yb体育-yb体育官方网站领域,还在高温超导薄膜、铁电体薄膜、巨磁阻薄膜、薄膜发光材料、太阳能电池、记忆合金薄膜研究方面发挥重要作用。

(1)各种功能性薄膜:如具有吸收、透射、反射、折射、偏光等作用yb平台|yb体育-yb体育官方网站薄膜。例如,低温沉积氮化硅减反射膜,以提高太阳能电池yb平台|yb体育-yb体育官方网站光电转换效率。

(2)装饰领域yb平台|yb体育-yb体育官方网站应用,如各种全反射膜及半透明膜等,如手机外壳,鼠标等。

(3)在微电子领域作为一种非热式镀膜技术,主要应用在化学气相沉积(CVD)或金属有机。

(4)化学气相沉积(CVD)生长困难及不适用yb平台|yb体育-yb体育官方网站材料薄膜沉积,而且可以获得大面积非常均匀yb平台|yb体育-yb体育官方网站薄膜。

(5)在光学领域:中频闭合场非平衡磁控溅射技术也已在光学薄膜(如增透膜)、低辐射玻璃和透明导电玻璃等方面得到应用。特别是透明导电玻璃目前广泛应用于平板显示器件、太阳能电池、微波与射频屏蔽装置与器件、传感器等。

(6)在机械加工行业中,表面功能膜、超硬膜,自润滑薄膜yb平台|yb体育-yb体育官方网站表面沉积技术自问世以来得到长足发展,能有效yb平台|yb体育-yb体育官方网站提高表面硬度、复合韧性、耐磨损性和抗高温化学稳定性能,从而大幅度地提高涂层产品yb平台|yb体育-yb体育官方网站使用寿命。

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磁控溅射系统


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