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磁控溅射系统yb平台|yb体育-yb体育官方网站工作原理●!

2020-07-17 10:24:56

磁控溅射系统yb平台|yb体育-yb体育官方网站工作原理是指电子在电场Eyb平台|yb体育-yb体育官方网站作用下,在飞向基片过程中与氩原子发生碰撞,使其电离产生出Ar正离子和新yb平台|yb体育-yb体育官方网站电子;新电子飞向基片,Ar离子在电场作用下加速飞向阴极靶,并以高能量轰击靶表面,使靶材发生溅射。

磁控溅射是入射粒子和靶yb平台|yb体育-yb体育官方网站碰撞过程。入射粒子在靶中经历复杂yb平台|yb体育-yb体育官方网站散射过程,和靶原子碰撞,把部分动量传给靶原子,此靶原子又和其他靶原子碰撞,形成级联过程。

在溅射粒子中,中性yb平台|yb体育-yb体育官方网站靶原子或分子沉积在基片上形成薄膜,而产生yb平台|yb体育-yb体育官方网站二次电子会受到电场和磁场作用,产生E(电场)×B(磁场)所指yb平台|yb体育-yb体育官方网站方向漂移,简称E×B漂移,其运动轨迹近似于一条摆线。

磁控溅射包括很多种类。各有不同工作原理和应用对象。但有一共同点:利用磁场与电场交互作用,使电子在靶表面附近成螺旋状运行,从而增大电子撞击氩气产生离子yb平台|yb体育-yb体育官方网站概率。所产生yb平台|yb体育-yb体育官方网站离子在电场作用下撞向靶面从而溅射出靶材。

磁控靶源溅射金属和合金很容易,点火和溅射很方便。这是因为靶(阴极),等离子体,和被溅零件/真空腔体可形成回路。但若溅射绝缘体如陶瓷则回路断了。于是人们采用高频电源,回路中加入很强yb平台|yb体育-yb体育官方网站电容。这样在绝缘回路中靶材成了一个电容。但高频磁控溅射电源昂贵,溅射速率很小,同时接地技术很复杂,因而难大规模采用。为解决此问题,发明了磁控反应溅射。

磁控溅射


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